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技術(shù)文摘

 Technology

產(chǎn)品參數(shù)

 parameters
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表征平板的局部誤差指標(biāo)有哪些？

標(biāo)簽：鑄鐵平臺|鑄鐵平板|花崗石平臺
 

表征平板的局部誤差指標(biāo)有：

1.      接觸斑點婁及其均勻性

2.      平滑性

3.      小節(jié)距

4.      直線度

5.      重復(fù)讀數(shù)測量誤差

6.      曲率變化量

7.      平面波動量

8.      局部平面度

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